三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)

一、結(jié)構(gòu)形式

    三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是由三個(gè)正交的直線運(yùn)動(dòng)軸構(gòu)成的,這三個(gè)坐標(biāo)軸的相互配置位置（即總體結(jié)構(gòu)形式）對(duì)測(cè)量機(jī)的精度以及對(duì)被測(cè)工件的適用性影響較大。

二、工作臺(tái)

    早期的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的工作臺(tái)一般是由鑄鐵或鑄鋼制成的,但近年來(lái),各生產(chǎn)廠家已廣泛采用花崗巖來(lái)制造工作臺(tái),這是因?yàn)榛◢弾r變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹,且價(jià)格 低廉、易于加工。有些測(cè)量機(jī)裝有可升降的工作臺(tái),以擴(kuò)大Z軸的測(cè)量范圍,還有些測(cè)量機(jī)備有旋轉(zhuǎn)工作臺(tái),以擴(kuò)大測(cè)量功能.

三、導(dǎo)軌

    導(dǎo)軌是測(cè)量機(jī)的導(dǎo)向裝置,直接影響測(cè)量機(jī)的精度,因而要求其具有較高的直線性精度。在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上使用的導(dǎo)軌有滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,但常用的 為滑動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,滾動(dòng)導(dǎo)軌應(yīng)用較少,因?yàn)闈L動(dòng)導(dǎo)軌的耐磨性較差,剛度也較滑動(dòng)導(dǎo)軌低。在早期的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中,許多機(jī)型采用的是滑動(dòng)導(dǎo)軌。滑動(dòng)導(dǎo)軌 精度高,承載能力強(qiáng),但摩擦阻力大,易磨損,低速運(yùn)行時(shí)易產(chǎn)生爬行,也不易在高速下運(yùn)行,有逐步被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢(shì)。目前,多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已采用空氣 靜壓導(dǎo)軌（又稱為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌）,它具有許多優(yōu)點(diǎn),如制造簡(jiǎn)單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。

    氣浮技術(shù)的發(fā)展使三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x在加工周期 和精度方面均有很大的突破。目前不少生產(chǎn)廠在尋找高強(qiáng)度輕型材料作為導(dǎo)軌材料,有些生產(chǎn)廠已選用陶瓷或高膜量型的碳素纖維作為移動(dòng)橋架和橫梁上運(yùn)動(dòng)部件的 材料。另外,為了加速熱傳導(dǎo),減少熱變形,ZEISS公司采用帶涂層的抗時(shí)效合金來(lái)制造導(dǎo)軌,使其時(shí)效變形極小且使其各部分的溫度更加趨于均勻一致,從而 使整機(jī)的測(cè)量精度得到了提高,而對(duì)環(huán)境溫度的要求卻又可以放寬些。